設備 半導體晶圓

本装置はφ300mmウェーハマクロ（照明）外観検査装置です。
ウェーハの外観のマクロ照明検査において、あらゆる角度と動きが可能な特殊ステージを持つ検査装置です。 オペレーターによるウェーハの観察を軽減・確実にします。完全エッジ・グリップ式ウェーハ搬送。ウェーハ表面・裏面に全く接触しません。 

• 完全エッジ・グリップ式ウェーハ搬送。ウェハー表・裏面に全く接触しません。
• 特殊ステージによるウェーハ自転・傾斜角度・θ角度・X-Yの動作が１ステージ上で可能(特許公開中)
• ウェーハ持替え無しでウェーハ表・裏同時検査が可能。(特許公開中)
• エッジ・グリップなのにウェーハ持ち替え無しでエッジ観察が可能。(特許公開中)
• 22sec/１ウェーハの高スループット（検査時間含まず）
• プログラム検査モード可能
• Class-1 クリーンルーム対応
• ＡＧＶ対応可能（オプション）
• ＦＯＵＰ対応クリーンチャンバー対応可能（オプション）
• ローダーユニット内でのウェーハ移載モード装備（オプション）
• 1〜6キャリア以上のローダー構成対応可能（オプション）