WJS-150B, WJS-200B, WJS-300B
DAITRON - 晶片刷洗機
備有適合各種尺寸用的手動放片小型WAFER單面刷洗機
產品特色
- 適用WAFER晶片、WAFER RING等製程
- 可選配加裝界面活性劑供給
- 可選配刷洗加壓機構
產品規格
- WAFER SIZE機種：〜φ６”：１５０Ｂ 〜φ８”：２００Ｂ 〜φ１２”：３００Ｂ
- RING SIZE機種：〜φ６”：１５０Ｂ 〜φ８”：２００Ｂ 〜φ１２”：３００Ｂ
- 高速ＪＥＴ洗浄：〜100ｋｇ/㎠
- BRUSH洗浄：NYLON、泡棉（選擇）
- 超音波洗浄：１.１ＭＨｚ
- ２流體洗淨：專用NOZZLE
- STAGE轉數：３，０００ｒｐｍ
- 尺寸:６００(Ｗ)×５３０(Ｄ)×５４０(Ｈ) ※ＷＪＳ−１５０Ｂ