INSPECTRA® PL Series
TASMIT - 瑩光式檢查設備 Luminescence Defect Inspection System
應用PL（Luminescence）形成的瑩光圖像，將往來可視光外觀檢查不可檢出的晶體缺陷・裂痕・發光不良以高速，高感度的方式自動檢出。
產品特色
- 使用獨自的光學系統及檢查演算技術，實現高速，高感度對於晶體缺陷做檢出・分類。
- 選配晶圓外觀檢查設備，不僅可對EPI製程的晶體缺陷做檢查，也可適用在圖案製程試做品・量產化的外觀檢查。
- 並用可視光檢查與PL檢查功能，可特定致命缺陷，貢獻改善不良率。
產品規格
GaN用途(LED,LD)
SiC用途(power devices)
GaN用途(power devices)
