OM-7000H
TASMIT - 層曡誤差量測儀 Overlay Metrology system
對於晶圓貼合誤差，實現正背面定位之高精度量測。
產品特色
- 完全自動化量測
- 可選擇透過式，反射式量測
- 以獨自開發的量測演算技術實現高精度量測
- 以PZT載台實現高精度對焦
- 自動儲存NG圖像
- 針對正背面的對叠圖案也可量測
- 可組裝搭配晶圓貼合設備
- 應用例：堆叠式Image Sensor，堆叠式Memory（Flash，D-RAM），次世代型IGBT，等
產品規格
GaN用途 (LED，LD)
實績用例：Stacked image sensors, stacked memory (Flash, D-RAM), next-generation IGBT 等
