VAAV-A
昭和科學 - 標準型 空壓式主動式除振台
用於半導體製造及檢查設備機台，可抑制半導體晶片細微加工產生的振動或滑台所產生的振動。
產品特色
- 無共振點的振動傳達特性，實現了從低振頻至高振頻的超廣域除振能力。
- 藉由6自由度的高精度位置制御能力，能保持安定的除振性能和位置精度。
- 對應移動質量大的荷重物，可以選擇能高速應答的大流量節流閥。
- 標準配備滑台移動前饋控制機能(stage feed forward)。
- 標準構成為一套4個單體。
用途例
安裝實例
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06-VAAV-A-H-L_catalog
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