風箱式氣囊 AT系列
昭和科學 - 空壓式被動式除振台
用於液晶製造及檢查設備機台,能對應高速移動滑台的高性能除振氣囊。同時間被水平和垂直方向的制振能力,是大型設備選用被動式除振台的最佳選擇。
昭和科學 - 空壓式被動式除振台
用於液晶製造及檢查設備機台,能對應高速移動滑台的高性能除振氣囊。同時間被水平和垂直方向的制振能力,是大型設備選用被動式除振台的最佳選擇。
型 式 | AT-120 | AT-250 | AT-415 | AT-615 | AT-855 |
規格:A×B (E)mm | 230×230(233) | 230×230(260) | 330×330(340) | 360×360(380) | 440×440(460) |
規格:C×Dmm | 210×210 | 210×210 | 300×300 | 330×330 | 410×410 |
規格:Hmm | 148 | 148 | 152 | 170 | 190 |
質 量(kg/個) | 7.5kg | 7kg | 10kg | 14kg | 18kg |
搭載可能重量(kg/個) | 360kg | 750kg | 1,500kg | 1,800kg | 2,500kg |
固有振動數 | 水平・垂直:約3.0Hz | ||||
水平方法 | 使用自動水平調整器來維持水平 | ||||
供給空氣源(MPa) | 0.4~0.6 |